萬(wàn)級(jí)凈化
萬(wàn)級(jí)凈化
萬(wàn)級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，拌有回流或渦流，不同等級(jí)的無(wú)塵室，主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn).。 目前有十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)兩種標(biāo)準(zhǔn)。
(1~百萬(wàn)級(jí)）
美國(guó)209E
歐洲標(biāo)準(zhǔn)
潔凈室編輯
概念
潔凈室(Clean Room)，亦稱為無(wú)塵室或清凈室。
「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
作用
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。
世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。
209E與209D等大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，好的等級(jí)為Class 1，差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。
潔凈室分類
（1）、工業(yè)潔凈室——以無(wú)生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
（2）、生物潔凈室，主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無(wú)生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為； A、 一般生物潔凈室，主要控制微生物（細(xì)菌）對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無(wú)菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
B、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）
亂流潔凈室的原理和特性編輯
1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室.
2、原理：亂流潔凈室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流潔凈室一般設(shè)計(jì)在千級(jí)以上至30萬(wàn)級(jí)凈化級(jí)別）。
3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級(jí)別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級(jí)別（換氣次數(shù)越多，凈化級(jí)別越高）
（1）、自凈時(shí)間：是指潔凈室按設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計(jì)的凈化級(jí)別的時(shí)間。 1,000級(jí)希望不超過(guò)20min(分鐘) (可取15min計(jì)算) 10,000級(jí)希望不超過(guò)30min(分鐘) (可取25min計(jì)算) 100,000級(jí)希望不超過(guò)40min(分鐘) (可取30min計(jì)算)
（2）、換氣次數(shù)（按上述自凈時(shí)間要求設(shè)計(jì)）1,000級(jí) 43.5—55.3次/小時(shí) (規(guī)范:50次/小時(shí)) 10,000級(jí) 23.8—28.6次/小時(shí) (規(guī)范:25次/小時(shí)) 100,000級(jí) 14.4—19.2次/小時(shí) (規(guī)范:15次/小時(shí))
潔凈室換氣次數(shù)估算編輯
千級(jí)潔凈室不小于50次/h；
萬(wàn)級(jí)潔凈室不小于25次/h；
十萬(wàn)級(jí)潔凈室不小于15次/h。
萬(wàn)級(jí)換氣次數(shù)[1] ≥25次/小時(shí)（一般取27-28）；十萬(wàn)級(jí)換氣次數(shù)≥15次/小時(shí)（一般17-18）
但是不能盲目按照換氣次數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)風(fēng)量，要考慮房間及工藝余熱、余濕。
萬(wàn)級(jí)凈化車間適用于的生物制藥、醫(yī)療器械、醫(yī)院制劑室、手術(shù)室、無(wú)菌室、食品飲料、化妝品、電子、實(shí)驗(yàn)室、電子儀器儀表、計(jì)算機(jī)房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻、微機(jī)制造等行業(yè)凈化工程，近年來(lái)完成百多項(xiàng)。按各行業(yè)用戶需求，凈化級(jí)別從一百級(jí)到三十萬(wàn)級(jí)，項(xiàng)目工程均通過(guò)權(quán)威部門檢測(cè)，按GMP規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)收QS規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)收，使合格率達(dá)100%，創(chuàng)造了諸多成功實(shí)例，除了要空氣潔凈度以外，還要保證達(dá)到除靜電的要求。
萬(wàn)級(jí)凈化車間特點(diǎn)：
萬(wàn)級(jí)凈化車間/潔凈室將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。無(wú)塵室亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為（無(wú)塵室/潔凈室）。
我公司主要生產(chǎn)：萬(wàn)級(jí)凈化車間、無(wú)塵車間、潔凈室 、凈化工程、醫(yī)療工程等的設(shè)計(jì)、施工、檢測(cè)等系統(tǒng)服務(wù)；潔凈棚、風(fēng)淋室、傳遞窗、風(fēng)淋傳遞窗、高 效送風(fēng)口、潔凈工作臺(tái)、傳遞窗、FFU層流罩、初、中、高 效空氣過(guò)濾器等(凈化設(shè)備)。
10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的潔凈標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度等級(jí) 塵粒大允許數(shù)/pc.m3 換氣次數(shù)/h 氣流流型 ≥0.5μm ≥5μm
100 000 3 500 000 20 000 10~15 非單向流
潔凈度等級(jí) 塵粒大允許數(shù)/pc.m3 換氣次數(shù)/h 氣流流型 ≥0.5μm ≥5μm
100 000 3 500 000 20 000 10~15 非單向流
1.塵粒大允許數(shù)（每立方米）；
2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)3500000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)20000個(gè)； 3.微生物大允許數(shù)；
4.浮游菌數(shù)不得超過(guò)500個(gè)每立方米； 5.沉隆菌數(shù)不得超過(guò)10個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差：相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致，對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動(dòng)±2℃。 冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制：
一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò)70分貝A。 二、靜態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)亂流潔凈室的噪聲級(jí)不宜大于60分貝A。
氣流組織：
十萬(wàn)級(jí)潔凈室主要采用的送風(fēng)方式： 1、局部孔板頂棚送風(fēng) ；
2、帶擴(kuò)散板高 效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng)； 3.上側(cè)墻送風(fēng) 等三種送風(fēng)方式。
十萬(wàn)級(jí)潔凈室主要采用的回風(fēng)方式：
1、單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口； 2、當(dāng)采用走廊回風(fēng)時(shí)，在走廊內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在走廊端部集中設(shè)置回風(fēng)口 。
送風(fēng)口風(fēng)速米／秒）：
1.孔板孔口3～5； 2、側(cè)送風(fēng)口：
⑴貼附射流2～5 ；
⑵非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5～2.5，對(duì)側(cè)墻下部回鳳1.0～1.5 。
回風(fēng)口風(fēng)速（米／秒）： 1、潔凈室回風(fēng)口不大于2； 2、走廊內(nèi)回風(fēng)口不大于4。
人員進(jìn)出10萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)操作程序
1 目的
建立10萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)人員進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)操作程序，保證潔凈區(qū)不受人員污染。
2 范圍
車間10萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)人員的進(jìn)出，包括生產(chǎn)操作人員、維修人員及管理人員。
3 責(zé)任
3.1 凡進(jìn)出10萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)的人員均應(yīng)對(duì)此操作程序負(fù)責(zé)。 3.2 潔凈區(qū)班組長(zhǎng)、現(xiàn)場(chǎng)品管員負(fù)責(zé)監(jiān)督、檢查。
4 內(nèi)容
4.1 進(jìn)入生產(chǎn)車間門口，放下自己的雨具、物品于規(guī)定位置。
4.2 換拖鞋。在換鞋處，坐在鞋凳上，脫去家居鞋，并將其放入鞋柜，旋轉(zhuǎn)180度，在鞋柜上層取出自己的拖鞋穿上。
4.3 換工作服。進(jìn)入一般工作區(qū)辦公室，脫下員工便服，換上工作服。 4.4 洗手。按洗手流程清洗手部。
4.5 換工作鞋。進(jìn)入更鞋間門口，坐在橫凳上，面對(duì)門外，脫去拖鞋，將拖鞋放入鞋柜下層，從鞋柜上層取出自己的工作鞋，坐著旋轉(zhuǎn)180度背對(duì)門外穿上。 4.6 洗手、烘干。
4.6.1 在洗手池用水潤(rùn)濕雙手至腕上10cm，用清潔劑洗滌，使手及手腕上10cm的皮膚均充滿泡沫，磨擦約15秒鐘。
4.6.2 用水沖洗雙手，沖凈手上泡沫，雙手上下翻動(dòng)，磨擦，直至不感滑膩為止。 4.6.3 用眼檢查雙手是否已清潔干凈。
4.6.4 將手掌伸至烘手機(jī)下8～10cm處，烘手，至干為止。
4.7脫下工作服放入個(gè)人的更衣柜內(nèi)，從一更更衣室墻壁掛鉤上取下含有個(gè)人編號(hào)的工作帽、工作衣、工作褲換上。按從上到下的順序穿上，即：先戴帽、口罩，再穿上衣，然后穿褲子。注意要將上衣全部扎進(jìn)褲帶里，頭發(fā)全部塞入帽內(nèi)，并檢查衣帽是否整齊。 4.8 洗手、消毒。
4.8.1 在洗手池用水潤(rùn)濕雙手至腕上10cm，用清潔劑洗滌，使手及手腕上10cm的皮膚均充滿泡沫，磨擦約15秒鐘。
4.8.2 用水沖洗雙手，沖凈手上泡沫，雙手上下翻動(dòng)，磨擦，直至不感滑膩為止。 4.8.3 用眼檢查雙手是否已清潔干凈。
4.8.4 消毒。將雙手至腕上10cm浸泡到含氯消毒液中30秒。 4.8.4 將手掌伸至烘手機(jī)下8～10cm處，烘手，至干為止。
4.9 穿連體服。從衣柜里取出含有個(gè)人編號(hào)的連體服，按從下到上的順序穿上，注意不允許讓連體服接觸到地面。
4.10 手消毒。推門進(jìn)入緩沖室，雙手放在裝有75%乙醇的自動(dòng)感應(yīng)噴霧器下方，噴霧消毒，摔動(dòng)雙手，讓乙醇揮干。
4.11 進(jìn)入潔凈區(qū)。打開(kāi)緩沖室門，進(jìn)入潔凈區(qū)。
4.12 人員出潔凈區(qū)按進(jìn)入潔凈區(qū)相反的程序進(jìn)行。注意脫工衣時(shí)要按從下到上的順序脫衣。
4.13 外來(lái)參觀人員須經(jīng)工廠同意，在車間管理人員指導(dǎo)和監(jiān)督下，按規(guī)定程序進(jìn)出潔凈區(qū)。外來(lái)參觀人員必須嚴(yán)格遵守車間潔凈區(qū)各項(xiàng)管理規(guī)定。潔凈車間生產(chǎn)期間，外來(lái)參觀人員不得進(jìn)入
萬(wàn)級(jí)凈化車間系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)管理
清潔要求
如何進(jìn)入萬(wàn)級(jí)凈化車間？
1、任何進(jìn)入萬(wàn)級(jí)凈化車間的人，必須先進(jìn)入無(wú)塵更衣室，穿上無(wú)塵帽、無(wú)塵口罩、無(wú)塵衣、靜電防塵手套、無(wú)塵褲、無(wú)塵靴（如圖①所示）。經(jīng)過(guò)這套外形很“酷”的防塵裝備可將人們身上已有的灰塵隔離在萬(wàn)級(jí)凈化車間之外，但這才是第 一步。
2、接著就要進(jìn)入風(fēng)淋室。所謂風(fēng)淋室是指一條“吹風(fēng)的長(zhǎng)廊”，不過(guò)在這條長(zhǎng)廊中吹出來(lái)的強(qiáng)風(fēng)是沒(méi)有任何靜電存在的離子風(fēng)。這種離子風(fēng)所具有的中和能力可以將人身上的正負(fù)電荷中和，而且依靠靜電黏附在毛發(fā)、衣服上的灰塵也會(huì)自動(dòng)脫落并粘在地板上的藍(lán)色洗塵墊上（如圖②所示）。
3、走過(guò)風(fēng)淋室后，就進(jìn)入萬(wàn)級(jí)凈化車間了。如果萬(wàn)級(jí)凈化車間生產(chǎn)的產(chǎn)品要防靜電，則還要經(jīng)過(guò)“靜電橋”徹底地消除身上的靜電。若進(jìn)入百級(jí)潔凈室還重復(fù)2、3步驟動(dòng)作。 什么是無(wú)塵概念？ 按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。 如表1所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)系統(tǒng)除了通稱的空調(diào)系統(tǒng)之外，制程設(shè)備也包括在內(nèi)，本節(jié)將對(duì)該二系統(tǒng)之運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)及保養(yǎng)做一概略說(shuō)明。
萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)之生產(chǎn)制造設(shè)備注意之重點(diǎn)有三： 1.生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)：
a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。 b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過(guò)濾裝置。
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。 e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。 g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。 k.應(yīng)有萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝專用工具組，但不得帶出萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝外使用。
l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。
2.生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施：
a.磨損、切削均為發(fā)生微塵之原因，故需將發(fā)塵部分掩蓋之。 b.易產(chǎn)生塵埃之設(shè)備，若能的話應(yīng)布置于風(fēng)尾地點(diǎn)。 c.在操作時(shí)，盡量減少接觸零件或產(chǎn)品。
d.不得有太大或不必要的操作動(dòng)作，以免卷起附近之灰塵。
e.各項(xiàng)廠務(wù)設(shè)施之供應(yīng)如水、氣體和化學(xué)品于進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備前應(yīng)有過(guò)濾設(shè)備。 f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應(yīng)有旁路閥之設(shè)置。 3.自動(dòng)化與無(wú)塵化：
a.設(shè)立自動(dòng)化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來(lái)的污染，唯費(fèi)用相當(dāng)昂貴，須詳加評(píng)估。
b.建立管制項(xiàng)目如進(jìn)入萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝人員的資格限定，萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝作業(yè)人員作業(yè)規(guī)則，萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝管理規(guī)則等，這些規(guī)則已在前面章節(jié)敘述，此處不再說(shuō)明。
在萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝之維護(hù)管理方面，可分三部分加以說(shuō)明：
1.建筑物之維護(hù)管理： a.建筑物內(nèi)定期檢查清潔。 b.地板之清掃管理及損壞更新。 c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補(bǔ)。 d.窗戶及門之保養(yǎng)等。 2.環(huán)境測(cè)定與管理：
萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)之運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境狀況如溫、濕度及微塵粒子數(shù)應(yīng)每日定期量測(cè)，以確實(shí)掌握質(zhì)量，若有數(shù)據(jù)異常，可立即做緊急處理。 3.防塵空調(diào)設(shè)備之維護(hù)管理：
a.溫、濕度及塵埃濃度管理，在前面以述及，唯其量測(cè)儀器應(yīng)做定期校正檢驗(yàn)，若有設(shè)備移動(dòng)或施工時(shí)須做局部測(cè)量。
潔凈室內(nèi)禁止吃喝，禁止咀嚼口香糖或糖果。
不能把潔凈服提來(lái)提去，人員不能觸摸或翻動(dòng)潔凈服。否則手或者手套污染潔凈服的危險(xiǎn)會(huì)很大。即使搬動(dòng)潔凈服，也會(huì)使服裝內(nèi)收信到的粒子散播到周圍的環(huán)境中。
要避免一切不必要的活動(dòng)。增加身體的活動(dòng)會(huì)增加體表散發(fā)的粒子。人員不必要的活動(dòng)會(huì)使周圍空氣形成渦流。建議以慢動(dòng)作進(jìn)行生產(chǎn)活動(dòng)。
人員衛(wèi)生
高度潔凈環(huán)境中工作人員衛(wèi)生的重要性，是怎么強(qiáng)調(diào)也不為過(guò)的。可是有關(guān)人員衛(wèi)生的各種規(guī)定與建議，并不是總能被很好的理解，盡管有些是非?；镜囊?guī)則。與污染擴(kuò)散直接相關(guān)的是材料和部件的搬運(yùn)等，因此，必須經(jīng)常洗手。特別是咳嗽、打噴嚏、上廁所、吸煙（包括使用鼻煙）之后，以及休息后返回工作之前，都要洗手。手在接觸受污染的材料和動(dòng)物后，也應(yīng)當(dāng)徹底清洗。根據(jù)具體的潔凈要求，在有些情況下，使用電話和計(jì)算機(jī)后也要洗手。這都是好的做法。 對(duì)藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范相關(guān)人員的衛(wèi)生要求，可總結(jié)如下： 每一個(gè)人員應(yīng)對(duì)自己個(gè)人的清潔衛(wèi)生負(fù)責(zé)。
b.過(guò)濾網(wǎng)之管理：定期檢查及更換，表6為各種過(guò)濾網(wǎng)之檢查及更換周期。 c.空氣調(diào)節(jié)器管理：定期檢查隔板接縫及內(nèi)部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現(xiàn)象。 d.送風(fēng)機(jī)之管理：定期檢查送風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀況。如表7所示為送風(fēng)機(jī)之各項(xiàng)檢查內(nèi)容及周期。 e.風(fēng)管及出風(fēng)口之管理：檢查風(fēng)管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。 f.測(cè)試及量測(cè)儀器管理：定期校正及保養(yǎng)。
g.室內(nèi)壓力管理：連續(xù)監(jiān)視室內(nèi)壓力記錄，以維持正壓為基準(zhǔn)。
h.冷凍主機(jī)、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理：定期檢查保養(yǎng)及記錄運(yùn)轉(zhuǎn)狀況及水質(zhì)變化分析，以
加藥量等。
i.萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝停止運(yùn)轉(zhuǎn)再開(kāi)機(jī)要點(diǎn)管理：?jiǎn)?dòng)后立即進(jìn)行微塵粒子之測(cè)試，須萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝恢復(fù)穩(wěn)定正常時(shí)再開(kāi)始作業(yè)。
萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)用品的管理
萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)用品除了進(jìn)出萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。
潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì)發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過(guò)污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過(guò)磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無(wú)塵紙或無(wú)紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來(lái)。萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑料底，布質(zhì)部分則采用與潔凈服相同材質(zhì)即可，鞋子穿著時(shí)潔凈衣腳跟部分應(yīng)完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔凈衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹(shù)脂（Viny1），在使用過(guò)程中若有不舒適感或妨礙手指觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時(shí)須去除或停用，原則上不使用有粉之Viny1手套為佳。
潔凈衣鞋帽子等須由專人管理，并定期做清洗，清洗須在萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)進(jìn)行。并以純水配合清潔溶劑，并經(jīng)約0.2μm之過(guò)濾器為之。一般洗滌周期視潔凈度等級(jí)而定，在高潔凈區(qū)（CLASS1）為2~3天，其它區(qū)域則為五天至一星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。潔凈衣之置放場(chǎng)所亦須為萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以方便取用。
桌椅一般以不銹鋼材質(zhì)，并需表面加工處理為之，若不得不使用鍍鋅品或木制品，其表面須施環(huán)氧樹(shù)脂（Epxoy）加工以防表面發(fā)塵。工作桌好有打洞，邊緣有倒角。以利氣流之運(yùn)動(dòng)。椅子盡量采用沒(méi)有背及腳踏板者，椅腳高度以坐下來(lái)腳可以觸到地板者為原則。但若一定須使用高腳椅時(shí)，則要準(zhǔn)備腳踏環(huán)。桌及椅子之腳好安裝上塑料小輪子或套上橡膠套。
芯片盒為放置芯片之用，材質(zhì)以選取擇不易摩損、不發(fā)塵易清潔之材質(zhì)如鐵弗（Teflon）等，至于搬運(yùn)車則以構(gòu)造簡(jiǎn)單為原則，并忌使用折迭式，材質(zhì)仍采用不銹鋼為宜，車輪為耐磨性高之橡膠輪胎，車輪軸承采用雙密封式滾珠軸承。推送搬運(yùn)車時(shí)不得急速運(yùn)推而以緩行為適。筆記本之紙質(zhì)應(yīng)采用無(wú)塵紙制成者，且不得使用影印數(shù)據(jù)，若非萬(wàn)不得已須使用，則須將文件放在透明之塑料套內(nèi)或加覆背，同時(shí)不可于室內(nèi)撕破或?qū)⒓埲喑梢粓F(tuán)，避免造成環(huán)境之污染。如表5所示為不同紙張材質(zhì)發(fā)塵量之比較。普通黑板及粉筆當(dāng)然不能在高萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)使用，必要時(shí)可在更衣室等萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝較低等級(jí)的區(qū)域使用白板。萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)不得放置清潔用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不銹鋼，且置于維修區(qū)中的固定位置，桶須覆以蓋子，以利管制，并定期清理。
真空吸塵器，其功能是在吸取萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)地板上、下及設(shè)備上附著之塵?；蛞后w以防止這些塵粒之再飛揚(yáng)，以達(dá)到清潔的目的，由于真空吸塵器在作業(yè)時(shí)會(huì)有排氣產(chǎn)生，若未經(jīng)處理，將嚴(yán)重影響萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝之潔凈度和氣流，因而真空吸塵器在排氣口均裝有HEPA過(guò)濾器，以除去塵埃。唯現(xiàn)今之高級(jí)萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝均設(shè)有中央式吸塵系統(tǒng)，并于現(xiàn)場(chǎng)預(yù)留吸塵口，故一般之清潔過(guò)程均利用此中央系統(tǒng)，以減少使用真空吸塵器時(shí)的氣流干擾,在使用中央式系統(tǒng)時(shí)，須注意排氣旦之控制避免使萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)之壓力降低至規(guī)定范圍以下。至于真空吸塵器因?qū)偃f(wàn)級(jí)凈化車間安裝內(nèi)專用，故不可移至室外使用，若不用時(shí)應(yīng)置于較低等級(jí)的萬(wàn)級(jí)凈化車間安裝中，旦每次使用后應(yīng)清掃吸管、收塵箱等吸氣系統(tǒng)。
